中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，主营干式真空泵、真空科学仪器设备的研发、生产、销售与配套技术服务。企业产品包含适配集成电路晶圆制造、光伏电池等泛半导体领域的干式真空泵，以及服务国家重大科技基础设施与各类科研场景的真空科学仪器设备。

为匹配产品研发生产阶段的精密检测需求，陕西威尔机电科技有限公司为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司提供威尔粗糙度轮廓复合机。

该设备采用独立双传感器创新架构，经过精准协同调试与配置优化，两类传感器可分别在各自适用检测场景充分发挥性能优势，实现检测能力互补。依托精巧的机械结构设计，轮廓传感器与粗糙度传感器切换操作简便，工件检测过程中传感器互换省时高效。